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特長2
 
 d. クラスター式真空搬送プラットホーム

メインプラットホームには、生産性・拡張性に優れたクラスター式
真空搬送プラットホームを採用しています
目的・用途に応じ、オプションにて予備加熱チャンバ、冷却チャンバの
搭載が可能です

UP

 e. 独自の石英ウェーハハンド 
当社独自のウェーハハンドを搭載した高性能真空搬送ロボットと
真空排気構造を有するクラスタチャンバにより各種処理チャンバへの
低コンタミネーション、低パーティクル搬送が可能です

 f. 排ガス除害システム

MOCVDシステムが実用化されるためには、単に薄膜の形成が技術的に可能で
あるだけではなく、製造施設外に有害物質を放出しないための環境対策を講じる
必要があります
当社のMOCVD装置の排気系には、関東電化工業株式会社と共同開発した
有機金属・有機溶媒除害システムを使用しております
                            右写真は「カンデンエフトールMH型」


 特長1  特長2  装置仕様  電気材料研究会資料  
 
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