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特長1
 
 a. 独自の原料溶液瞬間気化システムおよび新開発ブロックバルブ

従来、蒸気圧が低く、反応性に富んだ強誘電体・高誘電率膜原料は
CVD法による安定成膜は困難とされてきました
ワコム研究所では山形大学工学部都田教授との共同開発により、
長時間連続安定成膜・成膜特性再現性といった量産実現のための
課題を克服するキーテクノロジーとして、独自の原料溶液瞬間気化
システムを開発し、量産技術向けに最適化しました
USP 6,540,840 B1取得)

また、新開発したブロックバルブにより、配管のデッドスペースを
極めて小さくすることに成功しました

UP

 b. 強誘電体・高誘電率膜専用リアクタモジュール
長年の研究開発により熟成された強誘電体・高誘電体膜専用の
リアクタモジュールの採用により、これまで実用化が困難とされてきた
大口径ウェーハへの優れた面内均一性、結晶配向制御性、
組成制御性、段差被覆性を有する成膜が可能になりました
高集積化・大容量化が進む次世代FeRAM生産に向けて
最適化を図りました

 c. 独自GUIでシステムコントロールおよびデータロギング

ワコム研究所独自のシステムコントロール/データロギング
ソフトウェア(Windows XP)を搭載することにより、オペレーション、
装置状態の確認、トラブルシューティングといった作業をより正確に、
よりスムーズに行えるように最適化しました

*オプションでONLINE対応可能です(SECS, GEM, HSMSなど)


 特長1  特長2  装置仕様  電子材料研究会資料  
 
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