日本語
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 取得特許 |
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| 国内特許 | 台湾特許 | ||||||
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特許第3470055号 [発明の名称] MOCVD用気化器及び原料溶液の 気化方法 |
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発明第一八九七一三号 [発明名称] 気化器、使用該気化器之各種装置、 以及気 |
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| US特許 | |||||||
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Patent No.: US 6,540,840 B1 VAPORIZER FOR MOCVD AND METHOD OF VAPORIZING RAW MATERIAL SOLUTIONS FOR MOCVD |
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