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   BTO  

 バリウム(Ba)、チタン(Ti)の酸化物でBaTiO3と表記され、エレクトロニクス分野において重要な材料として知られている。
 ペロブスカイト構造である。常温でも高い比誘電率を有するためコンデンサの誘電体材料として広く用いられている。
 また、圧電素子やサーミスタの材料としても使用されている。


ワコムMOCVD装置で作成したBTO膜のデータ   [左]XRDデータ   [右]比誘電率データ   (表中の温度はアニール温度)
       
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