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   Ru / RuO2  

 宇部興産株式会社の金属錯体材料Ru-HPを使用し、弊社MOCVD装置Doctor-T™にて成膜
  O2(酸素)の添加量によりRu膜、RuO2膜を作り分けることが可能


X線回折(XRD)のデータからO2添加量が多いとRu膜、少量だとRuO2膜となる

O2添加量により抵抗率も変化する

  
(a) (b)  O2添加量1%のSEM画像
  
(c) (d)  O2添加量50%のSEM画像
 
 
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