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HOME > 受託成膜 > 使用装置および作業環境
 
  使用装置および作業環境など
*ウェーハ以外(例えば□10mmなど)も可能ですのでお問い合せ下さい
 
MOCVD-1
ウェーハサイズ :
 φ200mm(パーツ交換でφ150mmも可)
成膜温度 :
 〜700 ℃
同時使用可能原料 :
 最大4系統

MOCVD-2
メンテナンス中
ウェーハサイズ :
 φ200mm
成膜温度 :
 〜550℃
同時使用可能原料 :
 最大3系統

MOCVD-3
ウェーハサイズ :
 φ200mm
成膜温度 :
 〜550℃
同時使用可能原料 :
 最大4系統

 
 
 
成膜環境
専用クリーンルーム :
 クリーン度CLASS1000
 装置の設置、メンテナンス環境清浄化 等
専用クリーンブース :
 クリーン度CLASS10
 カセット・ウェーハの出し入れ、
 コントロール環境の清浄化 等
専用クリーンベンチ :
 クリーン度CLASS10
 カセットの保管、
 ウェーハ移載作業の清浄化 等

検査環境
蛍光X線分析装置 :
 組成・膜厚確認(保証範囲外) RIGAKU製 System3272 NEW
抵抗率測定装置 :
 メタル膜の比抵抗値確認 ダイアインスツルメンツ製 MCP-T610
電気特性評価装置 :
 強誘電性特性の確認(準備中) Radiant製 PrecisionLC

洗浄環境
ウェットエッチドラフト :
 装置パーツクリーニング
クリーンオーブン :
 パーツクリーニング後の乾燥

 
 
 
SBT, PZT, BLT, BNT, BIT
Ir, IrOx, TiOx, Ta2O5, ZrOx, LaOx, Al2O3, Ru, RuOx, Pt, HfOx, ZnO, STO, YBCO, LiTaO3

 
 
 
膜厚・組成測定 (但し、中央1点測定)、ワレ・カケ・チッピング検査(目視検査)

 
 
 
原則、お客様からの御支給品といたします。 ※但し、有償にてウェーハの調達もいたします

 
 
 
自社設置の抵抗率測定装置によるメタル膜比抵抗検査が可能です。
また、協力会社への委託により、XRD(X線回折)検査、SEM観察、TEM観察、AFM検査、SIMS検査、パターニング加工、
プレ/ポストクリーニング、スパッタ膜形成等にも対応可能です。

 

受託成膜に関する詳細やご依頼はこちらよりお問い合せください

 
 
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